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Queensgate 奈米定位與奈米感測產品的 真空版本 通常作為 標準產品 提供。如果現成解決方案無法滿足您的需求，我們可提供 客製化設計 與 產品變體，確保滿足特殊應用需求。

真空產品廣泛應用於 同步輻射、掃描電子顯微鏡（SEM） 和 航太應用。針對 超高真空（UHV） 環境，產品材料的選擇與準備至關重要。設計 UHV 產品時，不僅需確保其能在真空環境中穩定運行，還可能需要耐受 極低溫 或 輻射環境。

適當的 材料選擇（如 耐輻射元件）和 準確的製造與準備 是關鍵。其中，超音波清潔 可有效去除零件金屬上的 油脂 和 碳殘留，並建議在使用前進行 烘烤程序(Bake-out procedures) 以去除溶劑殘留。

感測器
NX NanoSensor® UHV 變體適用於 超高精度奈米定位應用，如 硬碟檢測、干涉測量、鏡子定位 和 高精度顯微鏡學。
NC NanoSensor® 則是專為 UHV 環境開發的 高解析度電容感測器，適用於 10^-10 Torr 真空環境。其 陶瓷-金結構 消除了所有膠黏劑，允許在 更高溫度下Bake-out，適用於 高輻射環境。

閉迴路致動器
DPT-E-UHV 系列致動器配備 電容反饋控制，可實現高精度定位。其 高熱穩定性 及 超級因瓦合金結構 提供卓越的定位穩定性，並可兼容 10^-9 Torr 的 UHV 環境。

平台
Queensgate 提供 真空相容版本 的 柔性導引壓電致動平台，並採用 Kapton 配線組裝。這些平台可用於實現 光學元件的亞奈米級精確定位。如果您在高真空應用中需要奈米定位解決方案，請 聯繫我們。

DPT-E
Closed Loop Piezo Actuators

MTP
Open Loop Preloaded Piezo Actuator

NanoSensors
NC Series Capacitive Sensors

NanoSensors
NX Series Capacitive Sensors

NPS-XY-100A
Super Invar Two Axis 100µm x 100µm Stage

NPS-XY-100D
Aluminum Two Axis 100µm x 100µm Stage

NPS-Z-500B
Long Range 500 Micron Amplified Actuator

WP120A
Wafer Positioner / Scanner