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ProScan Motorized Stage System for Semiconductor Microscope | Prior Scientific
H116 半導體顯微鏡專用電動平台
XY Axis Large Format Motorized Wafer Stage For High Precision Microscope Automation
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- 適用於大多數知名的顯微鏡廠牌
- 解析精度小於 1 µm
- 控制器支援RS-232和USB連線，相容大多數第三方軟體
- 移動行程範圍為 255 mm x 215 mm (10" x 8.5")
- 各式晶圓專用置具(Wafer Holder)供您選用
Prior電動台系列產品可提供最長五年的原廠保固 (請來電洽詢)
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H116 產品說明
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H116顯微鏡電動平台適用於各種半導體材料如晶圓(Wafer)、光罩(Photo Mask)、平面顯示器(FPD, Flat Panel Displays)與印刷電路板(PCB, Printed Circuit Board)等大型樣品的定位(Mapping)、檢查(Inspection)與瑕疪檢測(Defect Detection)等高階半導體材料的座標跑位、定位與掃瞄應用。
此外，H116顯微鏡電動平台可輕鬆滿足8英寸（200毫米）晶圓的移動行程需求，並可進一步整合機器人手臂(Robot Arm)與晶圓裝載機(Wafer Loaders)達成晶圓自動化取放片的工作目標。
通過將電動平台整合到ProScan™系統中，使用者可以獲得功能強大、精確和多功能的顯微鏡自動化控制系統，該系統還以可將各種不同的顯微鏡、影像分析軟體或其他顯微鏡周邊電控配件進行整合。
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H116 產品規格
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| Performance 註1 |
H116/2 |
HE16/2 |
單向重覆性精度 Uni Directional Repeatability 註2
in µm |
± 0.7 |
± 0.7 |
最小寸動精度 Minimum Step Size
in µm |
0.04 |
0.01 |
| 建議速度 Suggested Speed (mm/s) |
40 |
40 |
| 最大行程範圍 Maximum Travel Range (mm) |
255 x 215 |
255 x 215 |
| 最大載重 Load Capacity (Kg) |
25 |
25 |
| 載台重量 Weight (Kg) |
7.7 |
7.7 |
| 滾珠螺桿螺距 Ball Screw Pitch (mm) |
2 |
2 |
| Motor Type SPR 註5 |
200 |
200 |
| Encoder |
NO |
YES 註6 |
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備註：
- Specifications are based on the Prior method of testing and require the use of a ProScan II or above controller.
- Using a ProScan controller with backlash correction enabled.
- Measured over the full travel of the stage with IST enabled.
- Can be increased by a factor of 2.
- Steps Per Revolution of Motor.
- 0.1 µm res encoding provided.
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H116 產品尺寸
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H116 產品資源
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