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NPS-XYP-250Q
產品介紹
INTRODUCTION >> NPS-XYP-250Q
NPS-XYP-250Q 奈米級 300 mm 晶圓-光罩對位平台，專為 300 mm 製程中的光罩與晶圓高精度定位設計，確保卓越的穩定性與高精度。
該平台提供 250µm 的 X、Y 軸行程，並支援250µrad 的 Yaw (φ / θz) 旋轉，適用於高精度對位與調整。
擁有超大 350 mm 孔徑，並具備超過 10 kg 的負載能力，確保在光罩製造與晶圓生產過程中的穩定運作。
該平台具備高真空相容性(High-Vacuum Compatibility) 與高溫耐受能力(Elevated Temperature Capabilities)，適用於蒸鍍系統 (Vapor Deposition Systems) 及各類光罩與晶圓加工應用。
Prior 奈米級平台系列產品可提供最長五年的原廠保固 (請來電洽詢)
產品特色
FEATURES >> NPS-XYP-250Q- 移動範圍：X, Y 軸 – 250 µm，偏擺（Yaw）– 250 µrad
- 相容高真空環境（10⁻⁷ Torr）
- 可在最高 50°C 環境下運行
- 350mm 光圈
- 負載能力超過 10kg
- 材料：本體採用鋁合金，結構部分採用不鏽鋼與鈦合金
- 重量：31.5kg
- 尺寸：600 x 600 x 60 mm
- 穩定性：60 秒內穩定度低於 1.5nm（RMS）
產品資源
RESOURCE >> Prior Queensgate NPS-XYP-250Q统一编号：28376870
服务邮箱： service@totalsmart.com.tw
地址：40744 台湾台中市西屯区河南路2段262号10楼之7
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